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德國(guó)gbs光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點(diǎn)與用途
點(diǎn)擊次數(shù):431 更新時(shí)間:2025-08-07
 

德國(guó)GBS光學(xué)輪廓儀技術(shù)解析

 

一、品牌與產(chǎn)品概述

德國(guó)GBS metrology GmbHGBS計(jì)量有限公司)是一家專注于光學(xué)測(cè)量技術(shù)的企業(yè),總部位于德國(guó)伊爾梅瑙(Ilmenau)。該公司主要研發(fā)和生產(chǎn)基于白光干涉(WLI)技術(shù)的表面形貌測(cè)量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于工業(yè)檢測(cè)、科研及質(zhì)量控制領(lǐng)域。GBS的光學(xué)輪廓儀以高分辨率、快速測(cè)量和良好的適應(yīng)性為主要特點(diǎn),適用于多種材料表面的微觀形貌分析。

 

二、產(chǎn)品類型

GBS的光學(xué)測(cè)量產(chǎn)品線涵蓋多種類型,主要包括:

? smartWLI GBScope–基礎(chǔ)型光學(xué)輪廓儀,適用于實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)檢測(cè)

? smartWLI GBScanner–高速掃描型光學(xué)輪廓儀,支持大范圍拼接測(cè)量

? smartWLI InLineSensor–集成式干涉?zhèn)鞲衅鳎m用于自動(dòng)化在線檢測(cè)

? smartWLI LabSystem–實(shí)驗(yàn)室專用高精度測(cè)量系統(tǒng)

? smartWLI Pro–高性能光學(xué)輪廓儀,適用于復(fù)雜表面測(cè)量

? smartWLI Compact–緊湊型光學(xué)輪廓儀,適合空間受限環(huán)境

? smartWLI MultiSensor–傳感器集成系統(tǒng),支持多種測(cè)量模式

? smartWLI HighSpeed–高速測(cè)量系統(tǒng),適用于動(dòng)態(tài)檢測(cè)需求

? smartWLI LargeArea–大視場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng),支持超大面積掃描

? smartWLI Custom–定制化光學(xué)輪廓儀,滿足特殊應(yīng)用需求

 

三、主要型號(hào)與技術(shù)參數(shù)

GBS的光學(xué)輪廓儀型號(hào)豐富,不同型號(hào)適用于不同測(cè)量需求,以下是部分代表性型號(hào)及其技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

測(cè)量范圍 (XYZ)

垂直分辨率

橫向分辨率

物鏡倍率

測(cè)量速度

GBScope 100

100×100×50 mm3

<1 nm

~0.3 µm

2.5×–115×

13 s/scan

GBScanner 300

300×300×100 mm3

<1 nm

~0.5 µm

2.5×–50×

25 s/scan

InLineSensor 50

50×50×20 mm3

<1 nm

~0.4 µm

5×–50×

<1 s/scan

LabSystem 200

200×200×80 mm3

<0.5 nm

~0.3 µm

2.5×–115×

14 s/scan

Pro 150

150×150×60 mm3

<0.5 nm

~0.3 µm

×–100×

13 s/scan

PCompact 80

80×80×30 mm3

<1 nm

~0.5 µm

5×–50×

12 s/scan

 

工作原理GBS光學(xué)輪廓儀采用白光干涉(WLI)技術(shù),利用寬光譜光源的短相干特性,通過干涉條紋對(duì)比度分析樣品表面高度信息。測(cè)量時(shí),參考鏡沿Z軸移動(dòng),相機(jī)記錄干涉信號(hào),計(jì)算每個(gè)像素點(diǎn)的最佳干涉位置,最終重建三維形貌。

 

四、產(chǎn)品特點(diǎn)

1高分辨率測(cè)量垂直分辨率可達(dá)亞納米級(jí),橫向分辨率達(dá)微米級(jí),適合微觀形貌分析。

2快速掃描與拼接高速相機(jī)結(jié)合并行計(jì)算,單次掃描僅需13秒,支持大面積自動(dòng)拼接。

3適應(yīng)不同表面可測(cè)量鏡面、漫反射面及高斜率表面,通過算法優(yōu)化提升信號(hào)捕捉能力。

4模塊化設(shè)計(jì)物鏡轉(zhuǎn)塔、自動(dòng)化選項(xiàng)等可靈活配置,適應(yīng)不同應(yīng)用需求。

5抗振動(dòng)優(yōu)化優(yōu)化的掃描算法降低環(huán)境振動(dòng)影響,提高測(cè)量穩(wěn)定性。

 

五、應(yīng)用領(lǐng)域

1精密制造 測(cè)量機(jī)械零件、刀具、模具的表面粗糙度、磨損及加工紋理。

2半導(dǎo)體與MEMS檢測(cè)晶圓、微機(jī)電系統(tǒng)的臺(tái)階高度、薄膜厚度及結(jié)構(gòu)形貌。

3光學(xué)元件分析非球面、自由曲面及衍射光學(xué)元件的面形誤差(非超光滑表面)。

4材料研究 研究涂層、復(fù)合材料、生物材料的表面特性及摩擦磨損行為。

5質(zhì)量控制檢測(cè)產(chǎn)品表面缺陷、劃痕、顆粒污染及幾何尺寸偏差。

 

六、總結(jié)

GBS光學(xué)輪廓儀憑借白光干涉技術(shù)的高分辨率和快速測(cè)量能力,在工業(yè)檢測(cè)、科研及質(zhì)量控制領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。不同型號(hào)可滿足從實(shí)驗(yàn)室研究到自動(dòng)化產(chǎn)線檢測(cè)的多樣化需求。


 
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