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| inficon真空計是種高精度測量設備 |
| 點擊次數(shù)：61 更新時間：2025-11-25 |
inficon真空計作為一種高精度的測量設備，在科研、工業(yè)生產(chǎn)等領域有著廣泛的應用，采用整個陶瓷涂敷的傳感器單元用于高腐蝕性的應用，適用于惡劣的工作環(huán)境。 inficon真空計的基本工作原理： 1.皮拉尼熱導原理：以常見的PSG系列為例，它屬于皮拉尼真空計的一種。工作時先加熱電阻絲，使其升溫至需要的工作溫度。由于氣體粒子與電阻絲碰撞后離開時會帶走能量，導致電阻絲的溫度發(fā)生變化。而熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。具體又分為兩種方式，一種是穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化來等效測量真空度；另一種是穩(wěn)定電壓，測量溫度變化來等效測量真空度。通過這種方式實現(xiàn)對真空度的間接測量。 2.電容薄膜規(guī)原理：如PCG系列的電容薄膜規(guī)，是基于壓力使膜片變形，且變形量與壓力大小成比例的關系來進行測量的。當被測真空環(huán)境中的壓力作用于陶瓷膜片時，膜片會產(chǎn)生相應的形變，通過測量這個形變量就能夠得知當前的真空度數(shù)值。 inficon真空計的測定步驟： 1.安裝與連接 -真空連接：根據(jù)具體的型號和接口要求，將真空計正確地連接到被測系統(tǒng)的真空管道上。例如，某些型號可能需要拆卸磁鐵單元(僅適用于帶CF法蘭的真空計)來進行安裝。確保連接處密封良好，防止漏氣影響測量準確性。 -電連接：完成真空連接后，進行電氣線路的連接。按照說明書的要求，將真空計與相應的控制器或其他測量儀器連接起來，保證電源供應穩(wěn)定且符合設備規(guī)定的電壓、電流等參數(shù)。 2.開機預熱與穩(wěn)定：打開電源開關，此時真空計開始工作。在施加電源電壓時會有測量信號產(chǎn)生，需要允許至少10分鐘的穩(wěn)定期，讓設備內(nèi)部的元件達到穩(wěn)定的工作狀態(tài)，以確保后續(xù)測量結果的準確性。 3.讀取數(shù)據(jù)：當設備穩(wěn)定后，即可從顯示屏或通過連接到的其他數(shù)據(jù)采集裝置上讀取真空度的數(shù)值。不同類型的INFICON真空計可能采用不同的傳感器原理來測量真空度，如電容膜片式、皮拉尼式等，但都是以直觀的數(shù)字形式展示當前的真空狀況。 4.記錄與分析：在測量過程中，及時記錄不同時刻的真空度數(shù)據(jù)，以便后續(xù)對數(shù)據(jù)進行分析和處理。如果需要進行多次測量或長期監(jiān)測，應按照一定的時間間隔進行記錄，并注意觀察數(shù)據(jù)的波動情況，判斷是否存在異常。 |
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